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干涉仪由什么组成与干涉仪检测原理

干涉仪主要由光源、干涉系统、检测系统组成。其检测原理基于光的干涉现象，通过对比两束或多束光的干涉条纹，测量其相位差，从而得到光学元件的精度和表面质量。...